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產(chǎn)品詳情
旋涂機(jī)原理：
旋涂機(jī)（spin coater）是一種薄膜制備設(shè)備。在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，在離心力作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均勻的薄膜。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
產(chǎn)品特點
u采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。
u7寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配20個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，最多100個階段。
u內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
u多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全。
u樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險。
u一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
u符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品更方便。
u不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
u上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。
u可選氮氣吹掃、氮氣保護(hù)，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。
u適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
2024-07-26 
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